近日，哈爾濱工業大學宣布成功研制了一種高精度激光干涉儀。該儀器可以實現在納米級別下對光刻機進行精確控制，從而提高了光刻機的加工精度和效率。對于光刻機領域的技術升級和產業發展，這必將帶來重大的貢獻。光刻技術是現代化工、電子科技、儀器儀表以及信...
2023年03月03日
2023年03月02日
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